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加熱防腐型勻膠機測試 技術標準

加熱防腐型勻膠機測試 技術標準

簡要描述:加熱防腐型勻膠機測試 技術標準 加熱防腐型旋轉涂覆儀采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具有優良的化學穩定性和極qiang的耐腐蝕性,能夠用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。

所屬分類:測試儀

更新時間:2025-08-23

訪問次數:81

詳細說明:

加熱防腐型勻膠機測試 技術標準加熱防腐型勻膠機測試 技術標準

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一、技術原理與核心參數

加熱防腐型旋轉涂覆儀采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具有優良的化學穩定性和極qiang的耐腐蝕性,能夠用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。儀器采用先進的精密電機,轉速能達到12000轉/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能,本品還配有加熱組件,可以加熱到200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準確,升溫過程完quan可控。另外本儀器采用觸控屏控制,可以預設勻膠曲線,大大簡化了使用過程降低了學習成本,十分適合實驗室選購。

 

二、關鍵性能參數

?項目?

?參數要求?

控制系統?

PLC控制系統

操作界面?

彩色7寸觸摸屏,中英文切換?

速度范圍

0~12000rpm,精度±1

加速度

100~8000rpm/s(空載)

腔體材質

聚四氟乙烯

加熱溫度

室溫+200℃?

傳動機構

精密電機+驅動器和高精度步進電機,傳動穩、噪音小;

控溫方式

AIP智能控溫

滴膠方式

精密注射泵(0.01~5ml,精度±1%,防回流設計)

勻膠曲線

每條曲線1000段,共可儲存30條曲線

數據

支持USB導出數據

抽氣接口

φ6mm快擰接口

無油真空泵

50L/min,

勻膠吸盤

?10mm,?25mm,?55mm,?100mm聚四氟材質

打印機

嵌入式微型打印機

電壓電流

AC220V,50Hz

外形尺寸

310mm×365mm×350mm

重量

15kg

 

三,應用領域

?光電子學領域?:用于制備太陽能電池、有機發光二極管(OLED)、有機太陽能電池(OPV)等器件的薄膜涂層?;

?半導體與微電子制造?:適用于光刻膠旋涂、晶圓表面涂布等工藝,支持最大12英寸晶圓處理?;

?材料科學?:可制備金屬、半導體、氧化物及聚合物等材料的均勻薄膜,尤其適合需要抗酸堿和有機溶劑的實驗環境?;

?生物醫學領域?:用于生物傳感器、生物芯片的涂層制備,聚四氟乙烯腔體設計確保化學穩定性與耐腐蝕性?;

?納米科技?:支持納米材料與納米薄膜的制備,高精度控溫(室溫-200℃)和轉速調節(10-12000轉/分鐘)保障工藝穩定性?。

 

 

四、基礎操作流程

?A、安裝與準備?

?連接設備?

連接真空泵氣管與電源線,確保螺帽擰緊?。

插入設備電源線并打開總開關?。

?安裝吸盤與片托?

根據樣品尺寸選擇吸盤,對準槽口安裝并固定螺絲?。

將片托凹槽對準電機軸頂絲垂直放置?。

B、參數設置?

?選擇勻膠方案?

進入操作界面,選擇預設方案(如5段式參數)或自定義參數?。

?設置轉速、時間與加速度?

示例:第一段速度2000轉/分鐘,時間20秒,加速度2000?1。

分段設置(如第二段3500轉/分鐘,第三段10000轉/分鐘)?。

?溫度控制(如需加熱)?

設置溫度范圍(0-200℃),支持手動或自動加熱模式?。

C、旋涂操作?

?放置樣品?

將基片居中放置于片托,啟動真空泵吸附固定?。

?啟動勻膠?

轉速穩定后注入膠液,程序自動分段執行?。

?完成與清潔?

等待轉速歸零,關閉真空泵并取出樣品?。

定期清潔抽氣孔(滴酒精維護)?。

D、注意事項?

?防腐設計?:聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕,避免接觸強氧化劑?。

?安全防護?:加熱模塊高溫,操作時勿觸碰?。 

 

五、儀器特點

?1.防腐設計?

腔體材質采用?聚四氟乙烯(PTFE)?或?聚丙烯(PP)?,抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕?。

部分機型配備?防濺廢料罐?和?排液管?,防止腐蝕性液體污染環境?。

?2.加熱與溫控功能?

加熱范圍覆蓋?室溫至200℃?,控溫精度±1-2℃,適用于高溫工藝(如光刻膠烘烤)?。

支持?分段控溫?,部分機型集成?抽廢氣功能?,確保工藝穩定性?。

?3.高精度勻膠性能?

轉速范圍?10-20000轉/分鐘?,電機采用無刷伺服或德國進口電機,保障薄膜均勻性(厚度誤差±1%)?。

部分機型支持?正反轉旋涂?和?分段編程?,優化復雜工藝需求?。

?4.智能化操作?

配備?觸摸屏控制?、藍牙通信及PC端遠程控制軟件,支持配方存儲與掉電保護?。

實時顯示?轉速曲線?、吸附力及報警功能(如進膠保護、吸附不足互鎖)?。

?5.安全與兼容性?

透明耐腐蝕蓋板(丙烯酸材質)隔絕有毒氣體,部分機型適配手套箱使用?。

適配半導體、光電子等領域?。

 

 

六,配置清單

主機1臺;

測試軟件1套;

說明書1份;

合格證1份;

保修卡1份;

簽收單1份;

銘牌1塊;

電源線1根;

扳手1套;

宣傳冊若干;

 

 

 

 





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